next up previous contents index Fizika DU TSC
Nākamais: 2.4.3. Magnētiskie gāzizlādes sūkņi - magnetroni Augstāk: 2.4. Sorbcijas sūkņi Iepriekšējais: 2.4.1. Absorbcijas (ceolīta) sūkņi

2.4.2. Jonu iztvaicēšanas sūkņi

Jonu iztvaicēšanas sūkņos darbojas vairāki gāzu absorbcijas mehānismi - fiziskā absorbcija, ķīmiskā absorbcija, ķīmiskās reakcijas un šķīšana vielas slānītī, kas veidojas kondensējoties iztvaicētam metālam, visbiežāk - titānam.

Šāda sūkņa shematisks attēls redzams 2.8. zīmējumā.

Jonu iztvaicēšanas sūknis

2.8. zīmējums. Jonu iztvaicēšanas sūknis.
1 - volframa katods, 2 - titāna iztvaicētājs, 3 - anods, 4 - korpuss, 5 - ieeja.

No U veida iztvaicētāja 2 tiek iztvaicēts titāns, kas kondensējas uz kameras sienām 4 (tās tiek dzesētas ar ūdeni). Titāns ir aktīvs metāls, kurš veido savienojumus ar visām gāzēm, izņemot inertās un ogļūdeņražus. Tāpēc atsūknējamā gāze tiek saistīta šajā titāna plēvītē, kura nepārtraukti atjaunojas. Inerto gāzu atsūknēšanu var veicināt tās jonizējot, ko panāk ar volframa elektrodu 1, kas emitē elektronus. Šādu sūkņu darbības diapazons ir no $ \sim
10^{-3}$ līdz $ \sim 10^{-9}$ Torr, darbības ātrums - līdz pat 450 l/s. Trūkumi - mazefektīvi inerto gāzu atsūknēšanā, periodiski ir jāattīra kameras sienas no uzklātās titāna plēves un jāatjauno iztvaicētājs.




2003-11-15