Neatņemama vakuumiekārtu sastāvdaļa ir spiediena mērīšanas iekārtas, kuras, tāpat kā vakuumsūkņi, iedalās atkarībā no darbības principa:
Šķidruma manometros mērāmais spiediens (vai spiedienu starpība) līdzsvarojas ar šķidruma staba spiedienu. Tie ir visi U veida manometri un to modifikācijas. Mērījumu diapazons ir no 760 līdz Torr.
Kompresijas manometros darbības princips balstās uz ideālas gāzes izotermiskas saspiešanas likuma. Mērījumu diapazons - no līdz Torr.
Deformācijas manometros spiediens ir proporcionāls kāda jūtīgā elementa (membrānas, silfona u.t.t.) deformācijai. Mērījumu diapazons - no 760 līdz Torr.
Termoelektriskajos manometros izmanto gāzes siltumvadītspējas atkarību no spiediena. Manometrā ir ievietots sildelements, kura temperatūra un siltumatdeve mainās atkarībā no spiediena. Izšķir termopāra manometrus (sildelementa temperatūru mēra ar termopāri) un termoelektriskās pretestības manometrus (sildelementa temperatūru nosaka, mērot tā pretestību). Mērījumu diapazons - no līdz Torr.
Jonizācijas manometros spiedienu nosaka pēc jonu strāvas lieluma. Izšķir elektrojonizācijas (gāzi jonizē elektronu plūsma, ko emitē sakarsēts katods), radioizotopiskos (gāzi jonizē radioaktīvo izotopu izsviestās daļiņas), magnētizlādes (Peninga šūna u.c.). Mērījumu diapazons - no līdz Torr.
Viskozitātes manometru darbības pamatā ir retinātas gāzes viskozitātes atkarība no spiediena. Izšķir svārstību viskozitātes manometru (vienā vai abos galos iespīlēta kvarca diega svārstību rimšanas atkarība no spiediena) un ar rotējošu elementu, kurā ātri rotējoša elementa spēka momentu gāze pārnes uz nekustīgu elementu, kas iekārts jūtīgā iekarē. Iekares savērpšanās leņķis ir spiediena mērs.
Radiometriskajā manometrā izmanto radiometrisko efektu. Starp divām plāksnītēm, kas vakuumā atrodas dažādā temperatūrā, rodas gāzes spiedienam proporcionāli atgrūšanās spēki.
Manometru uzbūves principus pagaidām neapskatīsim.