Neatņemama vakuumiekārtu sastāvdaļa ir spiediena mērīšanas iekārtas, kuras, tāpat kā vakuumsūkņi, iedalās atkarībā no darbības principa:
Šķidruma manometros mērāmais spiediens (vai spiedienu
starpība) līdzsvarojas ar šķidruma staba spiedienu. Tie ir
visi U veida manometri un to modifikācijas. Mērījumu diapazons ir
no 760 līdz
Torr.
Kompresijas manometros darbības princips balstās uz
ideālas gāzes izotermiskas saspiešanas likuma. Mērījumu diapazons
- no
līdz
Torr.
Deformācijas manometros spiediens ir proporcionāls kāda
jūtīgā elementa (membrānas, silfona u.t.t.) deformācijai. Mērījumu
diapazons - no 760 līdz
Torr.
Termoelektriskajos manometros izmanto gāzes
siltumvadītspējas atkarību no spiediena. Manometrā ir ievietots
sildelements, kura temperatūra un siltumatdeve mainās atkarībā no
spiediena. Izšķir termopāra manometrus (sildelementa temperatūru
mēra ar termopāri) un termoelektriskās pretestības
manometrus (sildelementa temperatūru nosaka, mērot tā pretestību).
Mērījumu diapazons - no
līdz
Torr.
Jonizācijas manometros spiedienu nosaka pēc jonu strāvas
lieluma. Izšķir elektrojonizācijas (gāzi jonizē elektronu plūsma,
ko emitē sakarsēts katods), radioizotopiskos (gāzi jonizē
radioaktīvo izotopu izsviestās daļiņas),
magnētizlādes (Peninga šūna u.c.). Mērījumu
diapazons - no
līdz
Torr.
Viskozitātes manometru darbības pamatā ir retinātas gāzes viskozitātes atkarība no spiediena. Izšķir svārstību viskozitātes manometru (vienā vai abos galos iespīlēta kvarca diega svārstību rimšanas atkarība no spiediena) un ar rotējošu elementu, kurā ātri rotējoša elementa spēka momentu gāze pārnes uz nekustīgu elementu, kas iekārts jūtīgā iekarē. Iekares savērpšanās leņķis ir spiediena mērs.
Radiometriskajā manometrā izmanto radiometrisko efektu. Starp divām plāksnītēm, kas vakuumā atrodas dažādā temperatūrā, rodas gāzes spiedienam proporcionāli atgrūšanās spēki.
Manometru uzbūves principus pagaidām neapskatīsim.