Mūsdienu tehniskā pasaule nav iedomājama bez vakuumtehnikas. Ļoti daudzās nozarēs ir nepieciešamas vakuumiekārtas vai arī spiediena mērīšanas iekārtas. Tā, piemēram, nevienas elektroniskas iekārtas izveidošana nav iespējama bez vakuuma palīdzības. Visas mikroelektronikas pusvadītāju ierīces (mikroshēmas u.c.) tiek izgatavotas vakuumā uzklājot plānus pārklājumus. Metalurģijā vakuuma izmantošana metālu kausēšanā ļauj iegūt tādus metālus kā titāns, niobijs, tantāls, cirkonijs, berilijs un to sakausējumus, kā arī metālus ar uzlabotām īpašībām un tīrības pakāpi. Ķīmijas rūpniecībā ar vakuuma palīdzību iegūst sintētiskos materiālus, farmācijā - antibiotikas, pārtikas rūpniecībā - cukuru, hormonus, vitamīnus, viglajā rūpniecībā - plastmasas, foliju, papīru, audumus, optikā - augstvērtīgu optiku, u.t.t. Visbeidzot zinātnisko pētījumu veikšana nav iedomājama bez vakuuma.
Vakuumtehnikas vēsture sākas jau I gs.p.m.ē. ar Herona šļirces un Ketezbija ūdens sūkņa izgudrošanu. Turpmāk, līdz pat XVII gs.m.ē., tukšums (vakuums) bija tikai reliģiskas dabas jautājums. XVII gadsimta sākumā par tukšumu sāka interesēties arī zinātnieki - Galileo Galilejs atrada ūdens staba augstumu, kuru var iegūt ar sūcošu sūkni. 1643. g. Evandželisto Toričelli atklāja, ka atmosfēra rada spiedienu, kurš ir vienāds ar aptuveni 760 mm augsta dzīvsudraba staba spiedienu. Telpa barometriskajā caurulē virs dzīvsudraba, pēc Toričelli domām, bija absolūti tukša un tika nosaukta par ``Toričelli tukšumu''. 1650. g. vācu fiziķis Otto fon Gerike izgudroja pirmo mehānisko gaisa sūkni. Bet līdz pat XIX gs. vakuums tika izmantots vienīgi ūdens pacelšanai no akām.
1825. g. franču ķīmiķis Roberts Batists Dimā ieguva spiediena samazināšanos traukā, izspiežot no tā gaisu ar ūdens tvaikiem un vēlāk kondensējot tos. XIX gs. vidū vācu ķīmiķis Roberts Vilhelms Bunzens veica gāzes atsūknēšanu ar ātri plūstošas šķidruma plūsmas palīdzību.
Vakuuma iegūšana kļuva nozīmīga līdz ar elektrovakuumierīču - elektronu lampu, kvēlspuldžu u.c. izgudrošanu. Tālākā vakumiekārtu attīstība notika līdz ar tehnikas progresu. Mūsdienās ir iespējams iegūt spiedienu līdz pat [1] reizes mazāku par atmosfēras spiedienu.